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电空减压阀

PARECT电空减压阀(电磁阀方式中流量)

型号
EV2000

2015年03月31日销售中止

【停产产品】
代替产品：EVR 系列

行业

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高真空用元件

电动真空阀

型号
EVB

2021年03月31日销售中止

【停产产品】
代替产品：IAVB系列

通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。

行业
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 半导体制造工序（后工序）

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