省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch、采用W密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch，采用CS密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业

• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

直通结构流量传感器。不会发生异物堵塞和检测不良。最适合点焊机、各种机床、高频淬火装置等。

行业

• 冷却水
• 耐环境
• 冷却液控制

即使在旋转中也能以非接触方式检测金属加工生产线的钻头、螺纹破损、缺损的空气传感器。检测喷嘴备有与刀具匹配的专用喷嘴单元。此外，还可应对空气传感器特长之一的恶劣环境下的使用。

行业

• 夹具关联

适用于配管口径Rc3/8～1、流路部和驱动部隔离的洁净型气控阀。可选择阀体、膜片材质，适用于多种流体。
FP2：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）、流路部使用了符合食品卫生法的材质（树脂·橡胶）。

行业

是流路部和滑动部完全隔离的洁净型小型气控阀。
支持集成阀，节省装置、系统的空间。
FP2：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）、流路部使用了符合食品卫生法的材质（树脂·橡胶）。

行业

支持多种流体的直动式电磁阀。对应材质、节流孔径、线圈选择项丰富，适用于各种用途。
FP2：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）、流路部使用了符合食品卫生法的材质（树脂·橡胶）。

行业

追求装置高速化与高耐久性并存的卡爪。
【动作行程】
LHA：4, 5, 9, 11, 15, 20mm
LHAG：5, 9, 11, 15, 20mm

P4：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系…

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