省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。

行业

采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，可通过电气信号连续且高精度地控制空气压力的电空减压阀。

行业

• 传感器

可从0kPa开始高精度地进行以往未能实现的50kPa以下比例控制的电空减压阀。

行业

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 特殊用途、搬送

是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。

行业

【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

小型杆式2・3通电磁阀。连接采用弹壳型接头。密封件材质可选。

行业

• 生化分析设备
• 牙科医疗设备

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位，以电信号的形式输出。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。

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