可应对小型3通阀的各种用途。（气控阀・气缸驱动、吸附搬送、
吹气等）　
有正压专用3QE・3QZ系列、正负压用3QB系列、正负压用大流量3QR系列。
【适用缸径：Φ6～Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器
• 透析监视装置
• 牙科医疗设备

每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

是充分发挥3QR系列的小型、大流量、高响应特点，不使用真空破坏阀的真空吸附单元。有自复位型和自保持型。

行业

• 安装

是实现装置小型化的宽度为10mm的超小型直动式截止阀。备有单体、集成阀。
【适用缸径：Φ6〜Φ16】

行业

是适用于使用压力0.7MPa至低真空的直动式兼加压式3通阀。有助于构建低压、真空用途的系统。
【适用缸径：Φ16〜Φ40】

行业

• 氧气浓缩器
• 呼吸器/麻醉器

【停产产品】

行业