化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

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• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

化学液体用气控阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。
集成阀也备有两种可选。

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• 半导体制造工序（前工序）

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可耐受高压、高背压。

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• 化学液体供给设备用元件

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可用于强酸(盐酸、氢氟酸、硝酸)管路。

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• 化学液体供给设备用元件

1.5英寸大口径(切削阀体)气控阀。

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可瞬时排放大量液体的气控阀。

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可用于使用PVC阀体的FPD和太阳能电池生产线等的纯水控制的中等范围阀。全系列均采用低水锤结构，可减轻大口径配管在阀闭时受到的冲击。

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基础型化学液体用气控阀。
备有各种基础型接头。

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• 半导体制造工序（前工序）

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

标准：已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用铜、锌、镍系材料和电解镀镍。

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【停产产品】
代替产品：AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R系列

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