产品详情
流量传感器・控制器
小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM3
【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
- 行业
- 保护气体
- 半导体制造工序(后工序)
- 氮气清洗关联元件
【NEW】追加耐环境规格(IP65)
追加了即使在有尘埃的环境、维护时和清扫时溅到水滴也可
以放心使用的防护等级IP65型。
选择项也可对应欧洲防爆指令(ATEX)。
【不锈钢阀体型】
NEW:流量范围:扩大到1000ℓ。
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
氧气专用的禁油规格也有。
JXR接头型,2种双卡套接头型的2种街头和螺纹旋入式的共3种可选择。
【树脂阀体型】
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
接头快插式弯管、快插式直管、螺纹旋入式弯管、螺纹旋入式直管的4种可选择。
2通阀可直接连接,能节省空间。可调整流量的针阀于针阀一体型也更能节省空间。
【高精度・高响应】
压力损失因再设计流路而比旧型减少最大50%。
流向可选单向(正向和逆向的2种)和双向的3种类。
响应时间:50msec
【IO-Link可实现工厂自动化】
IO-Link对应。
传送参数和其他活动数据,可预测保全。
适用于检查漏气和空气消耗量。
【开始租赁样品(日本国内)】
购买之前,可以了解产品特点。
型号 | 名称 | 备注 |
---|---|---|
FSM3-L | 液晶表示型 | |
FSM3-B | 显示条 | |
FSM3-C | IO-Link对应型 | |
FSM3-L※4/5 | 液晶表示型 | 耐环境规格 |
FSM3-B※4/5 | 显示条 | 耐环境规格 |
FSM2-D | 分离显示器 |
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