产品详情

流量传感器・控制器

小型流量传感器 Rapiflow(R)

型号
FSM3

NEW

1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。

行业
  • 保护气体
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 氮气清洗关联元件

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软件

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CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【不锈钢阀体型】
NEW:流量范围:扩大到1000ℓ。
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
氧气专用的禁油规格也有。
JXR接头型,2种双卡套接头型的2种街头和螺纹旋入式的共3种可选择。

【树脂阀体型】
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。
接头快插式弯管、快插式直管、螺纹旋入式弯管、螺纹旋入式直管的4种可选择。
2通阀可直接连接,能节省空间。可调整流量的针阀于针阀一体型也更能节省空间。

【高精度・高响应】
压力损失因再设计流路而比旧型减少最大50%。
流向可选单向(正向和逆向的2种)和双向的3种类。
响应时间:50msec

【IO-Link可实现工厂自动化】
IO-Link对应。
传送参数和其他活动数据,可预测保全。
适用于检查漏气和空气消耗量。

【开始租赁样品(日本国内)】
购买之前,可以了解产品特点。

型号 名称 备注
FSM3-L液晶表示型
FSM3-B显示条
FSM3-CIO-Link对应型

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