洁净室用P5※ / P7※系列小型流量传感器RAPIFLOW专用超小型直管型过滤器

洁净元件用 P5※ / P7※系列

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。
内容积较小，因此不妨碍吸附确认时的高速响应。
P70：发尘对策

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【高度可靠的流量控制】
再现性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.

【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。

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洁净室用P5※ / P7※系列 小型流量传感器RAPIFLOW专用超小型直管型过滤器