洁净室用P5※ / P7※系列气体用小型流量传感器 RAPIFLOW®

部分衍生系列销售中止

洁净元件用 P5※ / P7※系列

【停产产品】
代替产品：FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
P70：发尘对策
P80：禁油处理

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【大流量、小体积】
流量范围：0.5～1000ℓ/min
500、1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。

【无需直管部位】
内置新的整流机构，上游侧和下游侧均无需直管部位，可自由设置。

【双方向测量】
显示一体型、双向型可任意设定流向进行测量。

【高速响应】
采用经过硅微加工的白金传感器芯片，实现50m/sec的响应速度。

【洁净规格】
标配有P70（防止发尘）、P80（禁油规格）产品。
最适合半导体、液晶制造领域的用途。

型号	名称	流量范围（L/min）	配管口径(Φ, Rc)	备注
FSM2-A	显示分离型(洁净室用)	0.5~1000	4~10, 1/8, 1/4, 1/2	2022年01月31日销售中止
FSM2-N	显示一体型（开关输出NPN 2点、模拟输出1点）(洁净室用)	0.5~1000	4~10, 1/8, 1/4, 1/2	2022年01月31日销售中止
FSM2-P	显示一体型（开关输出PNP 2点、模拟输出1点）(洁净室用)	0.5~1000	4~10, 1/8, 1/4, 1/2	2022年01月31日销售中止
FSM2-D	分离显示器(洁净室用)

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洁净室用P5※ / P7※系列 气体用小型流量传感器 RAPIFLOW®