洁净室用P5※ / P7※系列薄型电空减压阀

洁净元件用 P5※ / P7※系列

省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。
P70：排气处理

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【薄型14mm、轻量80g】
集成度高，最多可进行24连集成。

【省配线对应】
支持串行传输（DeviceNet、CC-Link）、集中端子台、D-Sub接插件。

【2方向安装】
可从底面、背面2个方向安装。

【高精度、高响应】
重复精度：0.3%F.S.
响应时间：0.1sec(空载时）

型号	名称	压力控制范围(MPa)	配管口径(Φ）	备注
EVT-P70	单体(洁净室用)	0~0.1	4, 6
MEVT-P70	集成阀(洁净室用)	0~0.5	4, 6

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洁净室用P5※ / P7※系列 薄型电空减压阀