洁净室用P5※ / P7※系列净化减压阀

洁净元件用 P5※ / P7※系列

采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢

行业

型号生成系统

CKD plus 仅限会员

【禁油规格】
实施精密清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的一条龙生产。
接触气体部位不使用润滑脂。

【紧凑•大流量】
对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。
（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）

【带可逆流功能】
具有排放1次侧压力时，2次侧压力向1次侧逆流的功能。
2次侧不残留压力，重视安全性。（不施加背压时）

型号	名称	配管口径（Rc）	设定压力范围(MPa)
RC2000-8-P90	净化减压阀(洁净室用)	1/4	标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2
RC2000-10-P90	净化减压阀(洁净室用)	3/8	标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2
RC2000-15-P90	净化减压阀(接单生产品)(洁净室用)	1/2	标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2

搜索条件

商品类别

洁净室用P5※ / P7※系列 净化减压阀