产品详情

减压阀

洁净室用P5※ / P7※系列 精密减压阀

型号
RP1000・RP2000

洁净元件用 P5※ / P7※系列

具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性,尺寸紧凑的同时,溢流流量大。
P70:排气处理

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【微压、低压范围性能优良】(RP1000系列)
采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。
可在0.003〜0.4MPa的设定压力范围内实现高精度、高稳定性的精密压力控制。
在0.03〜0.1MPa的微压·低压范围内的控制性能尤其出色。
在具备□42mm的紧凑型尺寸的同时,溢流流量大。

【稳定的流量特性】(RP1000系列)
具有压力降小且稳定的流量特性。
与流量大小无关,重复精度为满量程的±0.5%以内,
灵敏度为满量程的0.1%以内。

【最适于平衡器的长寿命·大流量】(RP2000系列)
实现高性能·长寿命·大排气流量。
可在0.03〜0.85Mpa的压力范围内实现精密压力控制。
与流量大小无关,重复精度为满量程的±0.5%以内,灵敏度为满量程的0.2%以内。

【大溢流流量】(RP2000系列)
采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。
□50mm的小型尺寸且溢流流量大的大排气流量型。
可动部采用低摩擦性密封件,实现了长寿命。
高频率·高响应条件下兼具优异的耐久性和充足的供排气量,适用于平衡器等装置。

型号 名称 配管口径(Rc)设定压力(MPa)洁净规格 备注
RP1000-8-02精密减压阀(洁净室用)1/40.003~0.2P70
RP1000-8-04精密减压阀(洁净室用)1/40.005~0.4P70
RP1000-8-07精密减压阀(洁净室用)1/40.005~0.7P70
RP2000-8-08精密减压阀(洁净室用)1/40.03~0.85P70
RP2000-10-08精密减压阀(洁净室用)3/80.03~0.85P70

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