产品详情

发生器系统

发生器单元（10.3mm宽）

型号
VSN・VSNM

实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5

行业
  • 半导体制造工序（后工序）

型号生成系统

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安全注意事项

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【小型、轻量】
最适用于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。

【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀，实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)

【4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。

型号 名称 喷嘴直径 备注
VSN-H单品型・高真空・中流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSN-E单品型・高真空・小流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-H集成型・高真空・中流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-E集成型・高真空・小流量型Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-Z集成型・混合规格-

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