【大流量】
最适用于大流量控制的31.5mm宽真空单元。

【适应不同使用方法的喷嘴类型】
备有单喷嘴型、两段喷嘴型、双喷嘴型3个种类。
两段喷嘴型：吸入流量比单喷嘴型增加了40％。
双喷嘴型：可高速上升至基准真空压力的同时，大幅减少了搬送时的耗气量。