产品详情

上浮基板

玻璃基板上浮模组

型号
GFM

可实现非接触上浮搬运的浮板。
根据不同的用途,有5种上浮导轨和上浮盘可供选择。

行业
资料⁄下载

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安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【非接触上浮搬运】
通过采用新型多孔材料,实现了稳定的上浮。
不用接触工件即可顺畅搬运,且可防止工件带电。

【可视性提高】
通过采用黑色本体,无散射,提高了工件的可视性。
最适用于高灵敏度检查。
抑制了上浮空气的颗粒。

【根据用途选择】
可根据精密上浮、玻璃面板搬运、制程工序的装载等用途,自由选择上浮导轨和上浮盘。

型号 名称 上浮量(参考)主要用途 备注
GFM-A校准上浮盘10μm以上定位
GFM-T高上浮导轨250μm以上玻璃面板搬运
GFM-RF上浮导轨250μm以上搬运
GFM-RS上浮导轨150μm以上装载・卸载
GFM-P精密上浮台30μm以上各种工序

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