产品详情
上浮基板
玻璃基板上浮模组
- 型号
- GFM
【非接触上浮搬运】
通过采用新型多孔材料,实现了稳定的上浮。
不用接触工件即可顺畅搬运,且可防止工件带电。

【可视性提高】
通过采用黑色本体,无散射,提高了工件的可视性。
最适用于高灵敏度检查。
抑制了上浮空气的颗粒。
【根据用途选择】
可根据精密上浮、玻璃面板搬运、制程工序的装载等用途,自由选择上浮导轨和上浮盘。

型号 | 名称 | 上浮量(参考) | 主要用途 | 备注 |
---|---|---|---|---|
GFM-A | 校准上浮盘 | 10μm以上 | 定位 | |
GFM-T | 高上浮导轨 | 250μm以上 | 玻璃面板搬运 | |
GFM-RF | 上浮导轨 | 250μm以上 | 搬运 | |
GFM-RS | 上浮导轨 | 150μm以上 | 装载・卸载 | |
GFM-P | 精密上浮台 | 30μm以上 | 各种工序 |
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