净化减压阀

采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。

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【禁油规格】
实施精密清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的一条龙生产。
接触气体部位不使用润滑脂。

【紧凑•大流量】
对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。
（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）

【带可逆流功能】
具有排放1次侧压力时，2次侧压力向1次侧逆流的功能。
2次侧不残留压力，重视安全性。（不施加背压时）

型号	名称	配管口径（Rc）	最高使用压力（MPa）	设定压力范围(MPa)	备注
RC2000-※	净化减压阀	1/4, 3/8	1.0	标准：0.05～0.7, 低压：0.02～0.2
RC2000-15	净化减压阀（接单生产品）	1/2	1.0	标准：0.05～0.7 低压：0.02～0.2

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