产品详情

减压阀

净化减压阀

型号
RC2000

采用禁油规格•不锈钢阀体,最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外,由于紧凑•大流量,因此适合空气(N2)吹气。

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【禁油规格】
实施精密清洗(气体接触部分),在洁净室内进行从组装到包装的一条龙生产。
接触气体部位不使用润滑脂。

【紧凑•大流量】
对边50mm的紧凑尺寸,并实现了0.8㎥/min的大流量。
(1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量)

【带可逆流功能】
具有排放1次侧压力时,2次侧压力向1次侧逆流的功能。
2次侧不残留压力,重视安全性。(不施加背压时)

型号 名称 配管口径(Rc)最高使用压力(MPa)设定压力范围(MPa) 备注
RC2000-※净化减压阀1/4, 3/81.0标准:0.05~0.7, 低压:0.02~0.2
RC2000-15净化减压阀(接单生产品)1/21.0标准:0.05~0.7 低压:0.02~0.2

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