产品详情

直动式3通电磁阀

负压切换单元

型号
MV3QR

是充分发挥3QR系列的小型、大流量、高响应特点,不使用真空破坏阀的真空吸附单元。有自复位型和自保持型。

行业
  • 安装

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【无需真空破坏阀】
通过无正压的真空脱离,无需采取措施防止极小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀,实现了精简化。

【占用空间最小化】
与以往的带破坏单元相比,安装面积减少44%,重量减少53%,最适用于制造装置的小型化。
即使在极小空间也可安装,装置设计的自由度更高。
通过轻量化,便于安装在装置可动部。

【可配备压力传感器】
单元中配备真空用压力传感器,外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器,提高可维护性。

【可安装真空用过滤器】
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。

型号 名称 配管口径 备注
MV3QRA直接配管M5,快插接头Φ4, Φ6
MV3QRB底板配管M5,快插接头Φ4, Φ6

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