产品详情
特殊气缸
空气轴承
- 型号
- LBC
采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。
- 行业
- 半导体制造工序（后工序）
- 安装
【滑动零阻力】
采用完全非接触设计，滑动零阻力，因此可实现高响应、与供给压力成线性比例的推力控制。
【洁净】
动作时完全非接触，因此无发尘。
| 型号 | 名称 | 推力（N） | 备注 |
|---|---|---|---|
| LBC-01 | 单作用・加压伸出型 | 1 | |
| LBC-05 | 单作用・加压伸出型 | 5 | |
| LBC-30 | 单作用・加压伸出型 | 10 |
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