产品详情

电空减压阀

数字电空减压阀

型号
EVD

是小型、高性能电空减压阀,配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 特殊用途、搬送

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【对应IO-Link】
通过IO-Link通信搜集数据并可以从主机进行远程操作。

【预测维修】
可监控运行状态。

【带数字显示器】
装有控制状态一目了然的数字显示器。

【模块化连接】
可与过滤器、减压阀进行模块化连接。

【高精度、高响应】
线性度:±0.3%F.S.
迟滞:0.5%F.S.
响应性:0.2sec

【预置输入功能】
本体可保存最多8ch的压力,可通过外部信号进行切换。

【直接记忆功能】
无需外部输入信号。
可利用产品的操作键自由地调整2次侧压力。

型号 名称 最大流量(L/min)压力范围(kPa) 备注
EVD-1000数字电空减压阀60~4000~900
EVD-3000数字电空减压阀700~15000~900

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