产品详情

电空减压阀

PARECT 电空减压阀

型号
EVS2

本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【小型】
30×39×57.1(宽×高×长)。
小型、轻量,有助于装置的小型化。

【高精度】
通过电气信号,高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性:0.3%F.S.
分辨率:0.1%F.S.
响应时间:0.1sec(无负荷)

【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器,设定压力时,显示为绿色,设定以外与错误时,显示为红色。

【配管、配线作业简单】
空气配管:采用快插接头,电气配线:采用M12接头,配管、配线作业简单。

型号 名称 压力控制范围(MPa)配管口径(Φ) 备注
EVS2-100PARECT 电空减压阀0.001~0.14, 6
EVS2-500PARECT 电空减压阀0.005~0.5MPa4, 6

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