产品详情
减压阀
先导式减压阀
- 型号
- PMP
可通过先导空气控制,使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合,可通过远程操作变更设定压力。
- 行业
- 半导体制造工序(前工序)
【高精度、高速响应】
采用膜片结构,具备高精度压力稳定性,支持高速响应。
以滞留部分较少的流路结构提高了置换特性。
接触液体部位全部采用氟树脂,洁净度和耐腐蚀性高。
【降低压力变动】
抑制膜片泵的脉动等。
可根据生产品及处方的不同远程变更设定压力。
【追加小型化机种】
将配管口径1/4”和 3/8” 添加到紧凑型PMP002系列中。
型号 | 名称 | 推荐流量 | 连接尺寸(配管外径・螺纹直径) | 配管方式 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
PMP002 | 小口径 | 0.2~3ℓ/min | 1/4”, 3/8” 6mm, 10mm | SUPER 300 | |
PMP202 | 小~中口径 | 0.2~5 ℓ/min | 1/4”, 3/8”, 6mm, 10mm | SUPER 300, F-LOCK60 | |
PMP402 | 大口径 | 2~20 ℓ/min | 1/2”, 3/4”, 1”, 12mm, 25mm | SUPER 300 |
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