产品详情

减压阀

先导式减压阀

型号
PMP

NEW

可通过先导空气控制,使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合,可通过远程操作变更设定压力。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【高精度、高速响应】
采用膜片结构,具备高精度压力稳定性,支持高速响应。
以滞留部分较少的流路结构提高了置换特性。
接触液体部位全部采用氟树脂,洁净度和耐腐蚀性高。

【降低压力变动】
抑制膜片泵的脉动等。
可根据生产品及处方的不同远程变更设定压力。

【追加小型化机种】
将配管口径1/4”和 3/8” 添加到紧凑型PMP002系列中。

型号 名称 推荐流量连接尺寸(配管外径・螺纹直径)配管方式 备注
PMP002小口径0.2~3ℓ/min1/4”, 3/8” 6mm, 10mmSUPER 300
PMP202小~中口径0.2~5 ℓ/min1/4”, 3/8”, 6mm, 10mmSUPER 300, F-LOCK60
PMP402大口径2~20 ℓ/min1/2”, 3/4”, 1”, 12mm, 25mmSUPER 300

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