气控阀・回吸阀一体型

以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。

行业

CKD plus 仅限会员

【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合，可调节为最佳滴液状态。
气控阀・回吸一体型。

型号	名称	最大回吸量	连接尺寸(配管外径・螺纹直径)	配管方式	备注
AMDSZ0	小口径	0.04 cm3	1/8”, 3 mm	SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60
AMDS00	中口径	0.12 cm3	1/8”, 1/4”, 6 mm, 6.35mm	SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC