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气控阀

化学液体用气控阀

型号
AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

NEW

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【扩大使用压力范围】
通过采用新密封结构,扩大使用压力范围。
A、B口的使用压力实现通用化。

【酸碱适用】
执行器采用耐化学药品性优异的氟树脂“PVDF”,标准型应用非常广泛,酸碱同样适用。

【扩大流体温度范围】
大幅扩大标准品的使用流体温度范围(Max. 120℃)。
可选择带传感器的类型,通过信号确认阀的开闭情况。

【3种安装方法】
除传统的法兰安装、底面安装外,还增加了4螺孔法兰安装。

型号 名称 连接尺寸(配管外径)节流孔径配管方式 备注
AMD※※3R2通阀1/8”, 1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 3mm,6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm2~20mmSUPER 300, F-LOCK60
AMG※※3R3通阀1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm3.5~20mmSUPER 300, F-LOCK60
GAMD※※3R集成阀1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm3.5~20mmSUPER 300, F-LOCK60

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