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集成化供气系统

集成化供气系统

型号
IAGD5

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.125inch、采用W密封。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学气体供给设备用元件

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件,构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付,可减少客户的工时。

型号 名称 内容尺寸配管方式 备注
IAGD5集成化供气系统--W密封
MAGD5-R集成化供气系统用元件气控阀1.125inch-
MMGD5-R集成化供气系统用元件手动阀1.125inch-
MFGD5集成化供气系统用元件流量调节阀1.125inch-
MCPG5集成化供气系统用元件单向阀1.125inch-

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