产品详情
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD4
省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch、采用W密封。
- 行业
- 半导体制造工序（前工序）
- 化学气体供给设备用元件
| 型号 | 名称 | 内容 | 尺寸 | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| IAGD4 | 集成化供气系统 | - | - | W密封 | |
| MAGD4-R | 集成化供气系统用元件 | 气控阀 | 1.5inch | - | |
| MOGD4 | 集成化供气系统用元件 | 手动阀 | 1.5inch | - | |
| MFGD4 | 集成化供气系统用元件 | 流量调节阀 | 1.5inch | - | |
| MCGP4 | 集成化供气系统用元件 | 单向阀 | 1.5inch | - |
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