产品详情
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD4
省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch、采用W密封。
- 行业
- 半导体制造工序(前工序)
- 化学气体供给设备用元件
【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件,构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付,可减少客户的工时。
型号 | 名称 | 内容 | 尺寸 | 配管方式 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
IAGD4 | 集成化供气系统 | - | - | W密封 | |
MAGD4-R | 集成化供气系统用元件 | 气控阀 | 1.5inch | - | |
MOGD4 | 集成化供气系统用元件 | 手动阀 | 1.5inch | - | |
MFGD4 | 集成化供气系统用元件 | 流量调节阀 | 1.5inch | - | |
MCGP4 | 集成化供气系统用元件 | 单向阀 | 1.5inch | - |
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