产品详情

高真空用元件

真空压力控制系统

型号
IAVB

既保持了高真空阀原本的可靠性,还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【可进行缓慢排气控制】
与通常的ON/OFF真空阀和两段排气真空阀相比,实现了固定比率的缓慢排气。

【新增压力控制功能】
以可靠性高的真空阀为基础,增加压力控制功能。
真空时的压力调节无需减压阀和可变漏阀。
通过采用截止阀方式,以O形圈密封结构实现了蝶阀不擅长的全闭动作。

【维护简便】
阀和电装部可分别维护。

型号 名称 配管方式 备注
IAVB※17真空压力控制系统NW16, 25, 40, 50
IAVB-CONTIAVB用控制器-

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