产品详情

高真空用元件

高真空用气控阀

型号
AVB

结构特殊,采用CKD独有的成型波纹管,实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
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安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【长寿命、高耐久】(Part 7系列)
采用独有结构,实现了长寿命并且提高了易用性的标准型产品。
对成型波纹管的形状进行了优化,耐久性强。
采用铝阀体,减轻了重量。
耐久性超群,实效值达300万次(在本公司规定条件下)。

【设置及配管自由度更高】(Part 7系列)
控制气口可选择4个方向的任意位置。
4面均可安装用于检测动作位置的超小型开关。

【长寿命、低发尘】(Part 3系列)
通过阀一体成型法使流路呈流线形,表面更顺滑。
长寿命成型波纹管。
SUS阀体型。

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