产品详情

高真空用元件

高真空用气控阀

型号
AVB

结构特殊,采用CKD独有的成型波纹管,实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【长寿命、高耐久】(Part 7系列)
采用独有结构,实现了长寿命并且提高了易用性的标准型产品。
对成型波纹管的形状进行了优化,耐久性强。
采用铝阀体,减轻了重量。
耐久性超群,实效值达300万次(在本公司规定条件下)。

【设置及配管自由度更高】(Part 7系列)
控制气口可选择4个方向的任意位置。
4面均可安装用于检测动作位置的超小型开关。

【长寿命、低发尘】(Part 3系列)
通过阀一体成型法使流路呈流线形,表面更顺滑。
长寿命成型波纹管。
SUS阀体型。

型号 名称 配管方式动作方式阀体 备注
AVB※17成型波纹管方式NW16, 25, 40, 50, 63, 80NC型铝阀体
AVB※47成型波纹管方式NW25, 40, 50, 63两段型铝阀体
AVB※37成型波纹管方式NW16, 25, 40, 50, 63, 80, 100双作用型铝阀体
AVB※13成型波纹管方式NW25, 40, 50, 80NC型不锈钢阀体
AVB※23成型波纹管方式NW25, 40, 50, 80NO型不锈钢阀体
AVB※33成型波纹管方式NW25, 40, 50, 80双作用型不锈钢阀体

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