产品详情
高真空用元件
电动真空阀
- 型号
- EVB
2021年03月31日销售中止
【停产产品】
代替产品:IAVB系列
通过马达驱动调整阀的开度,实现了多种导率的电动真空阀。
- 行业
- 半导体制造工序(前工序)
- 半导体制造工序(后工序)

【马达驱动,30点开度设定】
根据外部信号通过马达驱动调整开度。
最小间距0.15mm(NW25时)。
最适合简易的导率可变系统及真空控制的自动化。
【开度监视功能、各种信号输出功能】
内置编码器,可监视当前开度。
具备阀开、阀闭状态的动作完成信号、报警输出功能,使用更放心。
型号 | 名称 | 配管方式 | 备注 |
---|---|---|---|
EVB※17 | 电动真空阀 | NW25, 40, 50 | 2021年03月31日 销售中止旧的目录 |
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