产品详情

工艺气体用元件

气控阀

型号
AGD

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 化学液体供给设备用元件
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 氮气清洗关联元件

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【标准型】
耐久性：100万次（实测值400万次）
适用于集成化供气系统（1.5inch, 1.125inch）

【内部密封性能大幅提升】
通过最佳密封结构和表面精度的提高，减少颗粒的产生。

型号 名称 配管方式动作方式 备注
AGD0※R-4RM工艺气体用气控阀1/4”JXR公接头NC型, NO型
AGD0※R-4R工艺气体用气控阀1/4”JXR母接头NC型, NO型
AGD1※R-4RM工艺气体用气控阀1/4”JXR公接头NC型, NO型
AGD1※R-4R工艺气体用气控阀1/4”JXR母接头NC型, NO型
AGD1※R-4S工艺气体用气控阀1/4”双卡套接头NC型, NO型
AGD2※R-6RM工艺气体用气控阀3/8”JXR公接头NC型, NO型
AGD2※R-6R工艺气体用气控阀3/8”JXR母接头NC型, NO型
AGD2※R-6S工艺气体用气控阀3/8”双卡套接头NC型, NO型

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