产品详情

工艺气体用元件

高温・高耐久气控阀

型号
AGD

符合微细化发展的需求,具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 氮气清洗关联元件

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【AGD-HD系列】
耐久性:保证1000万次(实测值:3000万次)
适用于集成化供气系统(1.5inch, 1.125inch)
可适用于单体阀

【AGD-HDF系列】
耐久性:保证1000万次(实测值:3000万次)
适用于高温:~200℃
适用于集成化供气系统(1.5inch, 1.125inch)
可适用于单体阀
装配响应稳定执行器

【AGD21R-A系列】
耐久性:保证3000万次(实测值:1亿次)
流体温度:适用于150~200℃
适用于集成化供气系统(1.5inch)
装配响应稳定执行器
高Cv值:0.4以上

型号 名称 流体温度实测值 备注
AGD※※R-HD高耐久气控阀5~80℃3000万次以上
AGD※※R-HDF高温, 高耐久阀20~200℃3000万次以上
AGD21R-A高温, 高耐久阀150~200℃1亿次以上

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