产品详情
孵化产品【特殊规格产品】
直动式3通阀【特殊规格产品】
- 型号
- 3QR
NEW
小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
(3种产品刊载在1个产品页上。)
【适用缸径:Φ6~Φ20】
- 行业
- 半导体制造工序(前工序)
- 半导体制造工序(后工序)
- 氧气浓缩器

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【连续通电规格】
对应抑制功耗的连续通电。
适用于气控阀操作用、停电时的原点复位的规格。

【自保持型】
真空切换等停电时也可保持切换位置。除了标准对应NPN外,还将PNP规格作为特别规格品进行追加。

【省配线规格】
适用于集中端子台、D-Sub接插件、扁平电缆。
支持标准规格的3QRA/B系列、连续通电规格。※自保持规格(NPN/PNP)不对应省配线规格。

| 型号 | 名称 | 配管口位置 | 配管口径 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 3QRB110 | 单体阀(连续通电规格)【特殊规格产品】 | 底板配管 | M5, Rc1/8 | |
| M3QRB110 | 个别配线集成式(连续通电规格)【特殊规格产品】 | 底板配管 | M5, Rc1/8 | |
| 3QRB120 | 单体阀(自保持型)【特殊规格产品】 | 底板配管 | M5, Rc1/8 | |
| M3QRB120 | 个别配线集成式(自保持型)【特殊规格产品】 | 底板配管 | M5, Rc1/8 | |
| M3QRA110-T | 省配线模块集成阀【特殊规格产品】 | 直接配管 | M5, Rc1/8 | |
| M3QRB110-T | 省配线模块集成阀【特殊规格产品】 | 底板配管 | M5, Rc1/8 |
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