产品详情
工艺气体用元件
工艺气体用手动阀
- 型号
- MGD
手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。
- 行业
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 半导体制造工序(前工序)
- 氮气清洗关联元件
【内部密封性能大幅提升】
通过最佳密封结构和表面精度的提高,减少颗粒的产生。
采用的手柄形状可实现最佳的内部密封力。
制动机构可防止因过度拧紧导致的膜片破损。
型号 | 名称 | 配管方式 | 备注 |
---|---|---|---|
MGD10R-4RM | 工艺气体用手动阀 | 1/4”JXR公接头 | |
MGD10R-4R | 工艺气体用手动阀 | 1/4”JXR母接头 | |
MGD10R-4S | 工艺气体用手动阀 | 1/4”双卡套接头 | |
MGD20R-6RM | 工艺气体用手动阀 | 3/8”JXR公接头 | |
MGD20R-6R | 工艺气体用手动阀 | 3/8”JXR母接头 | |
MGD20R-6S | 工艺气体用手动阀 | 3/8”双卡套接头 |
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