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工艺气体用元件

工艺气体用减压阀

型号
PGM

采用金属膜片的工艺气体用减压阀。
为气体压力、流量的稳定化作出贡献。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 氮气清洗关联元件

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【高精度】
适用于高纯度气体、高精度控制的高规格设计。
可高精度控制微小流量、压力。
迟滞小,减小了压力降。

型号 名称 流量系列2次侧设定压力 备注
PGM-30V工艺气体用减压阀20ℓ/min-0.07~0.21Mpa
PGM-30工艺气体用减压阀20ℓ/min0~0.21Mpa
PGM-50工艺气体用减压阀20ℓ/min0~0.35Mpa
PGM-100工艺气体用减压阀20ℓ/min0~0.7Mpa
PGM-H-60工艺气体用减压阀50ℓ/min0~0.42Mpa
PGM-H-100工艺气体用减压阀50ℓ/min0~0.7Mpa

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