产品详情

工艺气体用减压阀

工艺气体用减压阀

型号
PGM

CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整,实现稳定的工艺控制。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件
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安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【高密封性】
有助于工艺稳定化
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● 最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏(流出)

【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制

【减少迟滞】
安全满足目标压力
● 采用高品质材料
● 超精密加工

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