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工艺气体用减压阀

工艺气体用减压阀

型号
PGM

CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。

行业
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 化学液体供给设备用元件

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安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【高密封性】
有助于工艺稳定化
● 阀座部的优化设计和超精密加工
● 最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏（流出）

【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
● 阀座部形状的优化设计
● 微小流量下也可稳定控制

【减少迟滞】
安全满足目标压力
● 采用高品质材料
● 超精密加工

型号 名称 流量2次侧设定压力 备注
PGM-30V工艺气体用减压阀20ℓ/min-0.07～0.21Mpa
PGM-30工艺气体用减压阀20ℓ/min0～0.21Mpa
PGM-50工艺气体用减压阀20ℓ/min0～0.35Mpa
PGM-100工艺气体用减压阀20ℓ/min0～0.7Mpa
PGM-H-60工艺气体用减压阀50ℓ/min0～0.42Mpa
PGM-H-100工艺气体用减压阀50ℓ/min0～0.7Mpa
PGM-2H-30V工艺气体用减压阀200L/min-0.07～0.21Mpa
PGM-2H-30工艺气体用减压阀200L/min0～0.21Mpa
PGM-2H-60工艺气体用减压阀200L/min0～0.42Mpa
PGM-2H-100工艺气体用减压阀200L/min0～0.7Mpa

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