气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW®

部分衍生系列销售中止

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，最适合电子部件等的吸附确认。

行业

CKD plus 仅限会员

【超小型、轻量】（FSM-X系列）
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%，轻量4G、最薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。

【非线性特性】（FSM-X系列）
将模拟输出作为非线性特性，提高了低流量领域的分辨率。

【高速响应】（FSM-V・FSM-X系列）
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计

【双方向测量】（FSM-V・FSM-X系列）
可进行双方向测量，最适合吸附确认用途。

型号	名称	配管口径（Φ、M)	备注
FSM-H	微小流量型	Rc1/8, G1/8
FSM-V	流量传感器（线性）	1.8,4,5
FSM-VFM	FSM・FSM-V专用直管型过滤器	-
FSM-V-D	显示器	-
FSM-X	流量开关（非线性）	4,5
FSM-A	模拟输出1点		2009年03月31日销售中止【停产产品】代替产品：FSM2系列
FSM-N	开关输出PNP 2点、模拟输出1点		2009年03月31日销售中止【停产产品】代替产品：FSM2系列
FSM-P	开关输出PNP 2点、模拟输出1点		2009年03月31日销售中止【停产产品】代替产品：FSM2系列