产品详情
流量传感器・控制器
气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM
部分衍生系列销售中止
【超小型、轻量】(FSM-X系列)
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、最薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。

【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提高了低流量领域的分辨率。

【高速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计
【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测量,最适合吸附确认用途。

型号 | 名称 | 配管口径(Φ、M) | 备注 |
---|---|---|---|
FSM-H | 微小流量型 | Rc1/8, G1/8 | |
FSM-V | 流量传感器(线性) | 1.8,4,5 | |
FSM-VFM | FSM・FSM-V专用直管型过滤器 | - | |
FSM-V-D | 显示器 | - | |
FSM-X | 流量开关(非线性) | 4,5 | |
FSM-A | 模拟输出1点 | 2009年03月31日 销售中止【停产产品】 代替产品:FSM2系列 | |
FSM-N | 开关输出PNP 2点、模拟输出1点 | 2009年03月31日 销售中止【停产产品】 代替产品:FSM2系列 | |
FSM-P | 开关输出PNP 2点、模拟输出1点 | 2009年03月31日 销售中止【停产产品】 代替产品:FSM2系列 |
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