产品详情

流量传感器・控制器

气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW (R)

型号
FSM

部分衍生系列销售中止

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应,最适合电子部件等的吸附确认。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)

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  • 产品特点
  • 衍生系列

【超小型、轻量】(FSM-X系列)
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、最薄8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。

【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提高了低流量领域的分辨率。

【高速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计

【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测量,最适合吸附确认用途。

型号 名称 配管口径(Φ、M) 备注
FSM-X流量开关(非线性)4,5
FSM-V流量传感器(线性)1.8,4,5
FSM-V-D显示器-
FSM-VFMFSM・FSM-V专用直管型过滤器-
FSM-A模拟输出1点2009年03月31日
销售中止
【停产产品】
代替产品:FSM2系列
FSM-N开关输出PNP 2点、模拟输出1点2009年03月31日
销售中止
【停产产品】
代替产品:FSM2系列
FSM-P开关输出PNP 2点、模拟输出1点2009年03月31日
销售中止
【停产产品】
代替产品:FSM2系列

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