产品详情

过滤器

硅氧烷・臭氧去除器

型号
SFX

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 安装

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安全注意事项

操作说明书

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【去除2种污染物质】
采用活性炭滤芯,去除环氧烷或臭氧。

【可高压对应】
可在加压状态下使用压缩空气和氮气。

【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。

【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。

型号 名称 连接工序环境温度、流体温度 备注
SFX40-8硅氧烷、臭氧去除器Rc1/45~50℃
SFX40-10硅氧烷、臭氧去除器Rc3/85~50℃
SFX40-15硅氧烷、臭氧去除器Rc1/25~50℃

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