产品详情
过滤器
硅氧烷・臭氧去除器
- 型号
- SFX
专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。
- 行业
- 半导体制造工序(后工序)
- 安装
【去除2种污染物质】
采用活性炭滤芯,去除环氧烷或臭氧。
【可高压对应】
可在加压状态下使用压缩空气和氮气。
【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块,实现省配线。
型号 | 名称 | 连接工序 | 环境温度、流体温度 | 备注 |
---|---|---|---|---|
SFX40-8 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc1/4 | 5~50℃ | |
SFX40-10 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc3/8 | 5~50℃ | |
SFX40-15 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc1/2 | 5~50℃ |
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