产品详情

过滤器

硅氧烷・臭氧去除器

型号
SFX

NEW

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 安装
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

操作说明书

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

  • 产品特点
  • 衍生系列

【对象去除物质】
通过一个机种去除硅氧烷或臭氧。

【使用流体】
可在加压状态下使用压缩空气、氮气。

【去除率】
采用自研活性炭过滤器,实现了99%以上的去除性能。

【提供两种尺寸】
根据使用场景,可从标准流量与大流量两种类型中选择。

【省空间】
通过与本公司调质元件进行模块连接,实现了省空间。

型号 名称 接続口径最大处理流量(硅氧烷) ※一次压力 0.7MPa时最大处理流量(臭氧) ※一次压力 0.7MPa时 备注
SFX40-8硅氧烷、臭氧去除器Rc1/4700L/min(ANR)560L/min(ANR)
SFX40-10硅氧烷、臭氧去除器Rc3/8700L/min(ANR)560L/min(ANR)
SFX40-15硅氧烷、臭氧去除器Rc1/2700L/min(ANR)560L/min(ANR)
SFX90-50硅氧烷、臭氧去除器Rc26300L/min(ANR)5000L/min(ANR)

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