压缩空气用流量传感器（显示一体型 FLUEREX）

型号: PF・PFU

2019年03月31日销售中止

【停产产品】
代替产品：PFD系列

可有效把握能耗现状及确认效果的中、大流量压缩空气用流量传感器。

行业

传感器
半导体制造工序（后工序）

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产品特点
衍生系列

【丰富的流量范围】（PF-F系列）
25～500ℓ/min
50～1000ℓ/min
100～2000ℓ/min
200～4000ℓ/min
0.4～8㎥
0.8～16㎥
【PFU系列】
25～500ℓ/min
50～1000ℓ/min
100～2000ℓ/min

【标配累计功能】
可轻松测量装置的耗气量。

【省空间】（PF-U系列）
可与过滤器、减压阀进行模块化连接。

型号	名称	流量范围（L/min）	配管口径	备注
PF500F	压缩空气用流量传感(中流量型)	25~500	Rc3/8, Rc1/2	2019年03月31日销售中止旧的目录
PF2000F	压缩空气用流量传感(中流量型)	100~2000	Rc1/2, Rc3/4	2019年03月31日销售中止旧的目录
PF4000F	压缩空气用流量传感(中流量型)	200~4000	Rc3/4, Rc1	2019年03月31日销售中止旧的目录
PF8000F	压缩空气用流量传感(大流量型)	0.40〜8.00㎥/min（normal）	Rc1 1/2	2019年03月31日销售中止旧的目录
PF16000F	压缩空气用流量传感(大流量型)	0.80〜16.00㎥/min（normal）	Rc2	2019年03月31日销售中止旧的目录
PFU500F	压缩空气用流量传感模块型	25〜500	Rc3/8	2019年03月31日销售中止旧的目录
PFU1000F	压缩空气用流量传感模块连接型	50〜1000	Rc3/8	2019年03月31日销售中止旧的目录
PFU2000F	压缩空气用流量传感模块连接型	100〜2000	Rc1/2	2019年03月31日销售中止旧的目录
PF1000F	压缩空气用流量传感(中流量型)	50~1000	Rc3/8, Rc1/2	2006年11月30日销售中止旧的目录
PF500D	压缩空气用流量传感	25~500	Rc3/8, Rc1/2	2006年11月30日销售中止
PF1000D	压缩空气用流量传感	50~1000	Rc3/8, Rc1/2	2006年11月30日销售中止
PF2000D	压缩空气用流量传感	100~2000	Rc3/8, Rc1/2	2006年11月30日销售中止
PF4000D	压缩空气用流量传感	200~4000	Rc1/2, Rc1	2006年11月30日销售中止
PF8000D	压缩空气用流量传感	400~8000	Rc1, Rc1 1/2	2006年11月30日销售中止
PF16000E	压缩空气用流量传感	800~16000	Rc2	2006年11月30日销售中止