产品详情
流量传感器・控制器
压缩空气用流量传感器（显示一体型 FLUEREX）
- 型号
- PF・PFU
2019年03月31日销售中止
【停产产品】
代替产品：PFD系列
可有效把握能耗现状及确认效果的中、大流量压缩空气用流量传感器。
- 行业
- 传感器
- 半导体制造工序（后工序）
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CKD plus 仅限会员
【丰富的流量范围】（PF-F系列）
25～500ℓ/min
50～1000ℓ/min
100～2000ℓ/min
200～4000ℓ/min
0.4～8㎥
0.8～16㎥
【PFU系列】
25～500ℓ/min
50～1000ℓ/min
100～2000ℓ/min
【标配累计功能】
可轻松测量装置的耗气量。
【省空间】（PF-U系列）
可与过滤器、减压阀进行模块化连接。
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