商品詳細

プロセスガス用レギュレータ

プロセスガス用レギュレータ

形番
PGM

NEW

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器

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3D CAD

CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ(出流れ)を極限まで抑制

【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御

【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工

形番 名称 流量2次側設定圧力 備考
PGM-30Vプロセスガス用レギュレータ20ℓ/min-0.07~0.21Mpa
PGM-30プロセスガス用レギュレータ20ℓ/min0~0.21Mpa
PGM-50プロセスガス用レギュレータ20ℓ/min0~0.35Mpa
PGM-100プロセスガス用レギュレータ20ℓ/min0~0.7Mpa
PGM-H-60プロセスガス用レギュレータ50ℓ/min0~0.42Mpa
PGM-H-100プロセスガス用レギュレータ50ℓ/min0~0.7Mpa
PGM-2H-30Vプロセスガス用レギュレータ200L/min-0.07~0.21Mpa
PGM-2H-30プロセスガス用レギュレータ200L/min0~0.21Mpa
PGM-2H-60プロセスガス用レギュレータ200L/min0~0.42Mpa
PGM-2H-100プロセスガス用レギュレータ200L/min0~0.7Mpa

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