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2002年10月8日 | ||
各 位 | ||
CKD株式会社 |
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世界最小クラス、高速応答のエア・窒素ガス用流量センサ発売 |
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当社は、微小チップ部品の吸着確認及び密閉容器のリーク検査に最適な超小形流量センサFSM-Vシリーズ(登録商標名:ラピフロー)を発売いたしました。 1.背景 この問題を解決するため、吸着ノズルを通過する流量で吸着確認する方式が提案され、当社では、これに対応した小形、高速応答の流量センサ(FSMシリーズ)をすでに発売('02年3月)しております。 しかし、高速動作する電子部品搭載機にセンサの応答を追従させるためには、流量センサ自体の高速応答化に加え、できるだけセンサをノズル近くに設置する必要があります。そのため、わずかな隙間に無理なく収まる超小形サイズと配管、配線の自由度が求められておりました。 また別の用途としては、密閉容器のリーク検査工程に於いても一般に圧力センサが用いられております。この検査方法では、検査時間に時間がかかることや、薄肉の容器に於いては加える圧力が大きくできない等の問題があり、微少流量を高速応答で測ることのできる流量センサが求められております。 このようなご要望にお応えして開発されたのが、世界最小クラス、超小型流量センサ「ラピフロー FSM-Vシリーズ」です。2.製品の特長 3.主な用途 (2)密閉容器・器具の漏れ検査 (3)その他各種装置における、エア、窒素ガスの流量管理 4.価 格 定価 28,000円~31,000円 |
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以上 | ||
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【お問い合わせ先】 CKD株式会社 総務部 TEL0568-74-1238,FAX0568-71-4322 E-mail ckd@ckd.co.jp |