また、この新製品の超小形、高速応答という性能を生かした用途として、電子部品実装機における吸着確認が注目されております。こうした装置の電子部品搬送には真空吸着を利用しますが、従来、部品の吸着確認は、吸着時の真空度の差を圧力センサにより検出していました。しかし、電子部品の小形化が進み、真空度の差が出ず検出不能となっていました。そこで、真空度ではなく流量で検出する案はありましたが、従来品では応答性が悪く、高速タクトタイムに追従できず、サイズとしても満足できるものではありませんでした。このようなご要望にお応えして開発されたのが小型流量センサ「ラピフロー」です。

２．製品の特長
（１）超小形、軽量（４０g）。同クラスの流量センサに比較して体積比１／７です。よって、狭いスペースの中や可動部にも設置できます。
（２）同クラスの流量センサの中で最速の応答速度（５０msec以下）を実現。電子部品実装機の吸着確認等、タクトタイムの短い装置に適用できます。
（３）真空でも使え、実装機の吸着確認等、真空用途に適用できます。
（使用圧力範囲：－０．０７～０．５MPa）
（４）新開発の整流機構を採用しているため、上流側、下流側の直管部が不要です。また、上下左右どの方向にも取り付けることができます。
（５）樹脂ボディの他に、ステンレスボディを用意。樹脂ボディからの放出ガスを嫌う用途においても使用できます。
（６）流量範囲は、０．０５～１０㍑/minまでの４タイプをそろえました。

３．主な用途
（１）小物部品の真空吸着確認：マウンター、ボンダー、ハンドラーなど（２）窒素ガスパージ：レーザー光学系の窒素ガスパージ、分析装置、真空ポンプ等、半導体製造装置の窒素ガス管理など
（３）密閉容器・器具の漏れ検査
（４）その他各種装置における、エア、窒素ガスの流量管理

４．価   格　　定価 ４０，０００円～６０，０００円

５．販売目標　　初年度１０，０００個（約４億円）以上の販売を予定しています。