当社は、電気信号により空気圧力を制御する電空レギュレータＭＥＶＴシリーズを発売いたします。

　ＩＴ業界の次世代装置開発により、ＨＤＤ（ハードディスク）を始め、多くの設備で更なる高精度、微細な機能部品の要求が出てきております。それに伴い、機能部品を加工するためのアクチュエータも、空気圧力による高度な制御が要求されるようになってまいりました。そこで、アクチュエータをより高度に作動させるため、制御点数を増やせ高精度でスペースをとらない、マニホールドタイプの電空レギュレータ（注）を開発いたしました。
　（注）電空レギュレータとは・・・
　　電気信号により、空気圧力を連続的にコントロールします。したがってコンピュータやプログラマブルコントローラなどの指令信号により、空気圧力をコントロールすることができます。

【商品の特徴】
１．業界最小の薄さ（１４mm／1連分）であり、最大２４連までマニホールド化が可能。また、重さ８０ｇ（１連分）と軽量です。
２．ネットワークに対応し、電装ブロックとして、シリアル伝送、集中端子台、Ｄサブコネクタをご用意いたしました。
３．電気信号により、空気圧力を高精度・高応答でコントロールできます。
４．繰り返し精度０．３％FS、応答時間０．１sec（無負荷時）と高精度・高応答です。
５．地球環境に配慮し、主要材料に材料名を表示いたしました。リサイクルのための分別処理が容易です。
６．作業状態をカラー２色で表示し、動作状態の確認及び異常が監視できます。

【主な用途】
　ＣＭＰ（ウェハ研磨）等の研磨装置の微細な押圧制御に多く利用されております。また、めがね、レンズ等の研磨装置や液体精密定量吐出の制御等に利用され　ます。

【標準価格】
　薄形ＭＥＶＴ８連ネットワーク仕様　：３３９，１３０円
　薄形ＭＥＶＴ８連集中端子仕様　　：２５５，１８０円

【販売目標】
　初年度　１０，０００個（約３億円）以上の販売を予定しております。

【発売日】２００１年７月３日より